Wafer production in the clean room

Elevate velocità di trasmissione con grande affidabilità

Storia di successo: controllo della temperatura

Controllo della temperatura durante la produzione di semiconduttori

Come spin-off aziendale di ASM, l'azienda olandese Levitech produce macchine per l'industria dei semiconduttori. Per ottenere le strutture più piccole e una maggiore uniformità nei semiconduttori che il mercato richiede, il produttore di macchine ha dovuto implementare nuovi metodi di trasferimento del calore. Questo richiede una correzione della temperatura più veloce e soprattutto un controllo più preciso. Ecco perché Levitech ha cercato un'alternativa per controllare i processi termici nella loro macchina Levitor. In JUMO, l'azienda di Almere nei Paesi Bassi ha trovato il partner con cui realizzare la soluzione.

Compito

Il reattore per la produzione di wafer consiste in 2 dischi di grafite che vengono riscaldati alla temperatura di processo appropriata. Per generare risultati ottimali, i dischi devono presentare caratteristiche specifiche. Il gas viene utilizzato durante questo processo per far sì che il wafer si muova tra i due dischi senza toccarli. Per raggiungere la temperatura necessaria di 1 200 gradi Celsius, si utilizzano speciali elementi riscaldanti Kanthal®.

L'obiettivo era quello di applicare metodi innovativi per il trasferimento di calore che permettono di facilitare un riscaldamento molto veloce del wafer e anche un raffreddamento molto veloce. Entrambi i lati del wafer hanno un'apertura uniforme di 0,15 millimetri per garantire una conduttività termica estremamente efficiente. Il wafer viene riscaldato alla temperatura dei dischi di grafite in pochi secondi. Questi sono controllati con uno specifico sistema di controllo del riscaldamento.


Macchina Levitor per la produzione di semiconduttori di Levitech

Approccio alla soluzione

Il sistema di controllo del riscaldamento è dove entra in gioco il regolatore di potenza a tiristori della JUMO. Lo JUMO TYA 201 controlla la corrente e la tensione necessarie dell'elemento riscaldante Kanthal® in ogni fase della temperatura e garantisce così una precisa progressione della temperatura durante il processo. Questo sistema permette di produrre i wafer a una temperatura ottimale che è sempre la stessa.




Wafer nel Levitech Levitor

Un wafer nel Levitech Levitor

Wafer riscaldato nel Levitor di Levitech

Il wafer nel processo termico del Levitor di Levitech

Risultato del progetto

Grazie alle caratteristiche del regolatore di potenza a tiristori JUMO TYA 201, è stato possibile soddisfare la richiesta di un controllo più preciso e di una correzione più rapida della temperatura. Di conseguenza, i metodi innovativi di trasferimento del calore possono ora essere applicati nella produzione di semiconduttori. In questo modo Levitech soddisfa le esigenze del mercato e allo stesso tempo aumenta la velocità di produzione.